西北工業(yè)大學(xué)機電學(xué)院微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)介紹 正文

微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)是研究如何設(shè)計與制造特征尺度在微米、納米量級并具有特定功能的器件與系統(tǒng)的一門新興綜合交叉學(xué)科，學(xué)科內(nèi)涵涉及微納器件與系統(tǒng)的設(shè)計、加工、封裝與測試等多個方面。在基礎(chǔ)理論方面，微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)學(xué)科將機械工程這門傳統(tǒng)學(xué)科與物理、化學(xué)、光學(xué)、聲學(xué)、材料學(xué)、電子學(xué)、生命科學(xué)等基礎(chǔ)理論的發(fā)展前沿緊密地結(jié)合在一起，為基礎(chǔ)科學(xué)研究提供了新的重要研究對象以及令人振奮的工程應(yīng)用背景。在工程應(yīng)用方面，微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)學(xué)科為其它工程學(xué)科發(fā)展提供了強有力支撐，成為推動及引領(lǐng)工程應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展的重要前沿科技之一。從微陀螺、微加速度計、微光開關(guān)、微麥克風(fēng)，到人造視網(wǎng)膜、人工耳蝸，目前已經(jīng)有超過150多種的微納器件與系統(tǒng)分別服務(wù)于航空、航天、航海、汽車電子、消費電子、生物醫(yī)療等各個領(lǐng)域，極大地提高了人類認(rèn)識和改造客觀世界的能力，改善了人類的生活質(zhì)量。截止到2012年，微機電產(chǎn)品的市場已經(jīng)超過140億美元。在學(xué)科體系方面，微機電系統(tǒng)與納米技術(shù)學(xué)科與機械工程、儀器科學(xué)與技術(shù)、光學(xué)工程、力學(xué)、材料科學(xué)與工程、動力工程及工程熱物理、電氣工程、電子科學(xué)與技術(shù)、控制科學(xué)與工程、化學(xué)工程與技術(shù)等一級學(xué)科都有著交叉與聯(lián)系，加上其微小的尺度、集成化、智能化的特點，使得微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)學(xué)科成為當(dāng)前國際上前沿?zé)狳c方向。
順應(yīng)國際發(fā)展的趨勢及用人單位的需求，西北工業(yè)大學(xué)在機械工程一級學(xué)科下面設(shè)立了微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)二級學(xué)科，并在國家985工程、211工程的重點建設(shè)下，固定資產(chǎn)投資超過4000萬元，建成一條四英寸MEMS硅基工藝線、聚合物工藝線、封裝測試線等，硬件條件達到國內(nèi)一流、國際先進水平。建成了陜西省微納米系統(tǒng)重點實驗室和空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室。為微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)專業(yè)的碩士生培養(yǎng)提供了世界一流的硬件平臺支持。
目前該專業(yè)擁有苑偉政、姜澄宇、馬炳和、常洪龍、喬大勇、虞益挺等六名教授，李曉瑩、劉篤喜、葉芳、黎永前、鄧進軍、何洋等六名副教授，其中長江學(xué)者1名、中組部青年拔尖人才1名、教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才3名、德國洪堡學(xué)者1名。在“十五”和“十一五”期間承擔(dān)了863計劃、國家自然科學(xué)基金等多項國家級科研項目，科研經(jīng)費超過3500萬元，獲得授權(quán)發(fā)明專利60余項，發(fā)表SCI論文超過50余篇，獲得國家技術(shù)發(fā)明獎2項、省部級一等獎3項，為該專業(yè)碩士生的培養(yǎng)提供了優(yōu)質(zhì)的師資力量。

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